Перевооружение комплекса по изготовлению СВЧ-приборов на микрополосковых линиях

Новосибирский Научно-исследовательский институт электронных приборов (НИИЭП) холдинга «Технодинамика» завершил техническое перевооружение производственного комплекса по изготовлению СВЧ-приборов на микрополосковых линиях. Общая стоимость проекта составила более 200 млн. руб.

Изготовление микроэлектронного оборудования систем ближней локации в диапазоне электромагнитных волн от дециметрового до оптического теперь может вестись в автоматическом режиме. В ходе проведенных работ полностью автоматизированы новые высоковакуумные установки для напыления металлических пленок на микрополосковые платы.

Измерение толщины и анализ состава гальванических и электролитических покрытий теперь происходит в режиме неразрушающего контроля. Высокопроизводительный рентгенофлуоресцентый анализатор применяется для измерения толщины и оперативного анализа химического состава многослойных покрытий, в том числе на образцах исчезающе малого размера. Оборудование позволяет измерять толщину одновременно до пяти слоев, при этом любые из двух слоев могут быть сплавами.

Руководитель института Сергей Жиров пояснил: «Получен устойчивый неразрушающий контроль толщины многослойных покрытий на любых основаниях. Это позволило увеличить скорость контроля качества элементов для микроэлектроники и повысить производительность труда до 15% на отдельных операциях».

Техническое перевооружение технологического комплекса по изготовлению СВЧ-приборов позволит удвоить выпуск продукции и расширить номенклатуру изделий. Также ожидается снижение себестоимости продукции на 5-7%. Рост производительности труда на новом оборудовании составит 15% за счет сокращения трудозатрат при операциях контроля и регулировки. Снижение затрат на подготовку производства составит до 30%. Оборудование с ЧПУ позволило институту повысить качество изделий и выйти на новый технологический уровень.

Источники: Ростех, НИИЭП